超低压等离子喷涂工艺作为先进航空发动机热障涂层制备的关键性支撑技术，相关装备长期受到国外技术制约。为解决超低压等离子喷涂装备国产化替代问题，基于“PC+PLC”架构，开发集成控制技术、高频斩波数字多相交错并联电源控制技术和大尺寸宽范围快速真空压力闭环控制技术，自主研制成功国内首台套完全国产化超低压等离子喷涂装备，具备喷涂工艺参数的自动监控、存储和显示功能。在50 Pa～80 kPa宽域压力范围内可实现低压等离子喷涂（3～80 kPa）和超低压等离子喷涂（50～1000 Pa）作业，同时可实现等离子物理气相沉积功能；经过喷涂工艺验证，装备运行安全可靠，稳定性良好，达成用户指标并交付使用。通过超低压等离子喷涂国产化装备的研发，实现关键技术自主可控，摆脱相关装备进口依赖，对于提升我国相关行业产业链和供应链韧性和安群可靠水平具有重要意义。

超低压等离子喷涂,斩波电源,热障涂层,国产化