类金刚石（DLC）薄膜因其高硬度、低摩擦系数及优异的耐磨耐腐蚀特性，在众多领域应用广泛。本文采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术在35CrNi2MoVE基体上制备Si-DLC薄膜，通过改变工作气体含量可调控沉积系统中的等离子体特性，采用扫描电镜、摩擦磨损试验机、划痕仪以及纳米压痕仪等探究不同乙炔含量（10/15/20/25sccm）对Si-DLC薄膜组织结构、力学性能、摩擦学性能的影响规律。结果表明：制备所得薄膜表面均匀致密，均无明显缺陷产生，随乙炔流量增加，表面粗糙度从12.07 nm增加至14.83 nm，薄膜沉积速率从1.4 μm/h增加至3.1 μm/h，膜基结合强度随乙炔流量增加呈现先增大后减小的趋势，当乙炔流量为20 sccm时具有最大结合强度约21 N，薄膜摩擦系数随乙炔流量增加无明显变化，均保持在0.04~0.05，对薄膜磨损率也有显著影响。
 

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