本工作中，我们利用磁控溅射技术制备了FeCrAlTiSi高熵合金涂层，系统地研究了衬底温度和溅射功率对涂层微结构、力学性能和抗液态铅铋（LBE）腐蚀性能的影响。结果表明，FeCrAlTiSi涂层均为非晶态，并且溅射功率和沉积温度对涂层的微结构和力学性能有着重要影响。涂层的纳米硬度和杨氏模量在300 W和250℃时达到了最大值，分别为26.91 GPa和356.3GPa，这归功于溅射功率和沉积温度对涂层致密化和表面缺陷控制的协同增强作用。进一步研究表明，涂层在液态LBE中表现了优异的抗腐蚀性能，当涂层在550 ℃的LBE中经过500小时的腐蚀后，它的表面形成了层状氧化物，其从外到内依次为Fe₃O₄、 Cr₂O₃、Al₂O₃、 FeCr₂O₄以及贫Cr层，我们提出了一个相应的腐蚀机理。本研究表明，FeCrAlTiSi非晶高熵合金涂层在铅冷快堆中有着广阔的应用前景。

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